वेफर क्यूरिंग प्रक्रिया में लैंपों के फटने की समस्या को रोकना
यदि आपने उच्च-लोड वाली उत्पादन प्रक्रियाओं को चलाया है, तो आपको इस समस्या का अहसास होगा। वे इन्फ्रारेड लैंप बहुत ही झटकों को सहन नहीं कर पाते। और जब कोई लैंप टूट जाता है, तो यह एक बड़ी आपदा है… काँच के टुकड़े एवं रासायनिक पदार्थ हर जगह फैल जाते हैं, जिससे वेफर्स दूषित हो जाते हैं, एवं उत्पादन प्रक्रिया ठप हो जाती है। यह ऐसी समस्या है जिसे कोई भी संभालना नहीं चाहेगा।
हमने इस समस्या को दूर करने का तरीका खोज लिया है। हमने एक विशेष प्रकार का रिफ्लेक्टर विकसित किया है; यह दो काम करता है – एक तो ऑप्टिकल ऊर्जा को बढ़ाता है, एवं दूसरा यह लैंप को भौतिक रूप से सुरक्षित रखता है।
यह कैसे काम करता है?
हम उच्च-शुद्धता वाले एल्यूमिनियम का उपयोग करते हैं… यह सिर्फ इन्फ्रारेड ऊर्जा को वेफर की ओर वापस भेजने का ही काम नहीं करता, बल्कि यह क्वार्ट्ज आवरण एवं वेफर के बीच एक “दीवार” का काम भी करता है।
यदि लैंप तापीय झटके के कारण टूट जाता है, तो रिफ्लेक्टर उसके टुकड़ों को अपने अंदर ही रोक लेता है… इससे वेफरों पर कोई नुकसान नहीं पहुँचता।
ऊष्मा संबंधी समस्याएँ
ये रिफ्लेक्टर उच्च-वाटेज वाले लैंपों के लिए ही बनाए गए हैं… लेकिन यहाँ एक समस्या है – यदि फोकल पॉइंट बहुत ही सटीक हो, तो ऊष्मा अधिक हो जाती है… यदि कूलिंग फैन कमजोर हों, तो रिफ्लेक्टर खुद ही बहुत गर्म हो जाता है… इससे उसकी सतह पर ऑक्सीकरण हो जाता है… यह एक सरल समस्या है, लेकिन इसका ध्यान रखना आवश्यक है… हर 2,000 घंटों में इसकी सतह की जाँच करनी आवश्यक है… ताकि सब कुछ ठीक रहे।
इसे कैसे लगाया जाता है?
हमने इन रिफ्लेक्टरों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि इन्हें बिना किसी परिवर्तन के ही लगाया जा सके… आपको अपनी मशीनों की संरचना में कोई बदलाव करने की आवश्यकता नहीं है… रिफ्लेक्टर लैंप के चारों ओर ही लग जाता है… यदि लैंप टूट जाता है, तो सभी टुकड़े रिफ्लेक्टर में ही रह जाते हैं… इससे बदलाव की प्रक्रिया बहुत ही आसान हो जाती है… आप बस पुराने लैंप एवं रिफ्लेक्टर को हटा देते हैं, टुकड़ों को साफ करते हैं, एवं नया लैंप लगा देते हैं… इस तरह आपका उत्पादन बिना किसी जोखिम के ही जारी रहता है।