クリーンルーム用のトロリー式ヒーターの温度を適切に制御する方法
もしスマートな製造施設を構築しようとしているのであれば、完全にデータ駆動型の生産環境を実現したいと思っているはずです。しかし問題は、従来の対流式ヒーターではそのような環境を実現するのが難しいということです。加熱に時間がかかり、また空気の乱流を引き起こして層流を乱してしまいます。理想的ではありません。
そのため、私たちは短波赤外線を利用したヒーターを使用しています。赤外線は空気を加熱するのではなく、直接対象物にエネルギーを送り込みます。これにより、より効率的で、速く、予測可能な加熱が実現されます。
「スマート」な加熱の実現
現代の製造環境では、「非スマートな」加熱源は使えません。毎秒何が起こっているかを正確に把握する必要があります。
私たちは、これらの赤外線ヒーターをPIDコントローラーに接続します。そうすれば、即座に加熱や冷却が行われます。抵抗体が十分に温まるのを待つ必要はありません。また、トロリー全体の温度を均一に保つように調整しているので、ウェハーが移動中に熱ショックを受けることはありません。
ハードウェアの詳細
私たちは高純度の石英管を使ってこれらのヒーターを製造しています。短波放射のため、熱は部材自体に浸透し、部屋全体を温めるだけではありません。
デジタル化を実現するために、ワット数を監視し、ランプの明るさが低下し始めた時を通知するセンサーも搭載しています。
ただし、注意点があります。電力密度に注意しなければなりません。これらの高ワット数のヒーターは多量の電流を消費します。複数のトロリーを並べる場合は、電気盤がその急激な電流を処理できるか確認してください。火曜日の朝に遮断器が壊れるような事態にはなりたくありません。
なぜこれが効果的か
最良の点は、赤外線ヒーターは大幅にスペースを節約できるということです。重々しい断熱材や大型ファンは不要になります。
そうすれば、AGVやロボットが障害物にぶつからずに自由に動けるだけでなく、タイマーに頼って温度を推測する必要もありません。リアルタイムのフィードバックによって、正確に温度状態を把握できます。
これが、面倒なことなく生産ラインをデジタル化する方法です。