MEMS製造赤外線ヒーター

MEMSラインでは、温度変動は単なるパラメータではなく、歩留まりを著しく低下させる要因である。リソグラフィにおいて、ソフトベイクやハードベイクの温度が0.1度の一部でもずれると、ウェハ上のクリティカル寸法はばらつき、トラックを離れる前にデバイスが廃棄される。私たちはこの現実に対応するために赤外線ヒ...