洗浄工程でランプが壊れる心配はもういりません。 大量生産を行っている最中にランプが故障すると、それは大変な問題です。単に停止時間が長くなるだけではありません。石英管が割れてしまうと、ガラスの破片や化学物質が製品全体に散らばってしまいます。一度でも故障すれば、何千ドルもの損失になってしまいます。 だ...

では、お客様のファブで使えるUHP赤外線加熱について話しましょう。 ウェハ処理においては、わずかな歩留まりの向上でも大変な労力が必要です。そのため、私たちは超高純度のUHPヒーターランプを開発しています。今日では「グリーンファクトリー」の基準が求められていますが、私たちにとってはそれ以上にシンプル...

装置を加熱するのはやめよう：熱フラックスを適切に管理するためのより良い方法 半導体製造工場では、常に課題があります。ウェーハを十分に高温にする必要がある一方で、装置全体がオーブンのようになってしまっては困ります。 一般的な赤外線ランプは、熱を全方位に放出してしまいます。これは無駄なことです。さらに...

何か問題が発生したときにウエハーを清潔に保つ方法 ウエハーファブでは、ランプの故障は大変な問題です。単に機械が数時間停止するだけでは済みません。もし重負荷のために石英管が破損すれば、ガラスの破片やタングステンの破片がシリコン上に降り注ぎます。そうなると、単なる部品の故障が大規模な汚染事故に変わって...

ガラスの破片が飛び散るのを防ぎ、ウェーハを管の故障から守りましょう。 高負荷な環境下で赤外線ランプが壊れてしまった経験がある方なら、それがどれほど深刻な問題かご存知でしょう。単に機械が停止するだけではありません。周囲がめちゃくちゃになってしまいます。 石英管がシリコンウェーハの上で破裂すると、単に...

なぜ、オゾンを含まない赤外線ランプの絶縁性能を厳しくテストするのか？ オゾンを含まない赤外線ランプは、酸素の働きを妨げる185nm波長の光をカットできるため、非常に優れています。これは、安全性や環境保護の観点から見ても大きな利点です。しかし、光がクリーンであっても、電気的な側面にこそ真の危険が潜ん...

バイオセンサーの製造において、適切な温度管理が重要です。バイオセンサーを作る際には、ポリマーを硬化させたり、基板上の材料を動かすために十分な熱が必要ですが、部屋中に無駄に熱を放出してはいけません。もし熱が適切に制御されないと、高価な半導体装置の内部が巨大なオーブンのようになってしまい、装置を操作す...

ウェーハの硬化処理中に発生するランプの爆発という悪夢を止める方法 高負荷の生産を行っている方なら、そのストレスはよくわかるでしょう。赤外線ランプは大きな負荷にさらされます。そして、ついにランプが壊れてしまったら、それは大惨事です。ガラスの破片や化学物質があちこちに飛び散り、ウェーハが汚染され、歩留...

ランプが爆発するのを防ぎ、ウェーハを守るために 生産ラインで何か問題が発生した場合、どうなるでしょうか。1つのランプが壊れるだけで、すべてが止まってしまいます。さらに悪いことに、高価なウェーハ全体が汚染されてしまう可能性もあります。これは本当に最悪の状況です。 そこで、私たちは高い圧力に耐えられる...

製造現場において、フォトレジストの焼成やウェーハの乾燥の際の温度変動は、単なる理論上の問題ではありません。それは実際に生産性に影響を与える問題なのです。0.5℃の温度変動だけで、重要な寸法に影響が出ます。また、ゆっくりとした温度上昇は、わずかしか割けない熱エネルギーを無駄にしてしまいます。超純水用...

製造現場では、フォトレジストの焼成中に0.5°Cもの温度変動があれば、生産された製品全体が廃棄処分になってしまいます。不確かな加熱では不十分です。確実に所定の温度を維持できる加熱システムが必要です。 技術的に重要な点 当社のリソグラフィーオーブン用ランプは、フォトレジストが吸収する波長域において、...

製造現場では、温度の変動は目立った形で現れることはありません。ただ静かに、製品の品質を低下させていくだけです。MOCVDでは、均一でないランプの出力により、ウェーハ全体に厚みや成分のばらつきが生じます。これは分光分析で確認でき、デバイスの性能にも影響を与え、廃棄物の報告書からもその影響が見て取れま...

製造現場では、ソフトベイク時の温度変動が1℃だけでも、回路の寸法にナノメートル単位の誤差が生じてしまいます。これは単なる許容範囲の問題ではなく、製品の品質に直結する問題です。そのため、熱処理を行う際には、推測に頼ることはできません。規律正しい管理が求められます。そして、この加熱ランプはまさにそうし...

製造現場では、1回の焼成工程で仕様を外れるだけで、大量のウェーハが不良品になってしまいます。温度の均一性が失われ、フォトレジストの特性も変わり、結果として歩留まりが低下します。私たちは、こうした問題を未然に防ぐために、低コストなウェーハ乾燥用ランプを開発しました。 技術的に重要な点 これは、安定し...

ファブ内では、フォトレジストの焼成時に0.1℃の変動があるだけで、重要な寸法がナノメートル単位で変わってしまいます。これは「許容範囲」というものではなく、製品として不合格となります。私たちは、このような不確実性を排除するために短波長赤外線ランプを開発しました。そうすることで、ウェーハ全体の均一性が...

OLEDラインにおいて、乾燥は一時停止ではなく、制御ポイントである ウェーハはリンス後にリソース面を安定させる必要がある。フォトレジストが乾燥不足だとエッジビードが発生し、オーバーレイがずれ始める。ベイクが均一でなければ、ライン幅の分布が広がり、歩留まりが低下する。こうしたばらつきをプロセスから排...

Fabフロアでは時計の針が止まることはない。ウェハーはフォトレジストのコートを待っている。洗浄バスはちょうどサイクルを終えた。パッケージの積み重ねには最後の硬化が必要だ。これらの各工程において、熱は単に加熱するだけではなく、ライン幅、接着性、信頼性を左右する制御された熱移動である。熱がずれると、不...