バイオセンサーの製造において、適切な温度管理が重要です。バイオセンサーを作る際には、ポリマーを硬化させたり、基板上の材料を動かすために十分な熱が必要ですが、部屋中に無駄に熱を放出してはいけません。もし熱が適切に制御されないと、高価な半導体装置の内部が巨大なオーブンのようになってしまい、装置を操作す...

IR硬化技術を用いた水素センサーの製造 水素センサーを製造する際には、熱管理が非常に重要です。もし熱管理を間違えると、膜が壊れたり、触媒が正しく固定されなくなったりします。これを適切に行い、かつ環境に優しく、鉛を含まない製品を作るために、私たちはIR硬化技術を積極的に利用しています。 従来の対流式...

是非を知ろう まずは「熱」について話しましょう。半導体製造ラインでは、装置が高温になります。この熱は、エネルギーコストだけでなく、安全性の面でも問題を引き起こします。私たちが開発した指向性赤外線ヒーターは、このような問題を解決するためのものです。具体的には、無駄な熱が発生し、装置内部が危険な状態に...

是非を言わせない性能 ウェーハ製造において、ヒーティングランプはプロセスの核心的な役割を果たします。それは単なる部品ではなく、日々同じ結果が得られるようにするための熱源なのです。 私たちが開発した工業用ヒーティングランプは、世界的に有名なブランド製品にも匹敵する性能を誇ります。半導体製造に適した環...

MEMSラインでは、温度変動は単なるパラメータではなく、歩留まりを著しく低下させる要因である。リソグラフィにおいて、ソフトベイクやハードベイクの温度が0.1度の一部でもずれると、ウェハ上のクリティカル寸法はばらつき、トラックを離れる前にデバイスが廃棄される。私たちはこの現実に対応するために赤外線ヒ...

OLEDラインにおいて、乾燥は一時停止ではなく、制御ポイントである ウェーハはリンス後にリソース面を安定させる必要がある。フォトレジストが乾燥不足だとエッジビードが発生し、オーバーレイがずれ始める。ベイクが均一でなければ、ライン幅の分布が広がり、歩留まりが低下する。こうしたばらつきをプロセスから排...