何か問題が発生したときにウエハーを清潔に保つ方法 ウエハーファブでは、ランプの故障は大変な問題です。単に機械が数時間停止するだけでは済みません。もし重負荷のために石英管が破損すれば、ガラスの破片やタングステンの破片がシリコン上に降り注ぎます。そうなると、単なる部品の故障が大規模な汚染事故に変わって...

焼損したランプが製品の品質を台無しにするのを防ごう 大量生産を行う工場では、インフラレッドランプが故障すると本当に大変です。単に稼働停止にとどまらず、ガラス片やハロゲンガスがウェーハに直接かかってしまいます。これは大惨事です。 そこで私たちは、IR素子をステンレス製のケースで覆います。これはまるで...

破片の発生を防ぎ、ウエハーを守る 半導体製造工場では、一度でも故障が起きれば全てが台無しになってしまいます。私もそのような事態を目の当たりにしたことがあります。赤外線ランプが過度な負荷によって壊れると、単に生産が停止するだけでなく、クリーンルーム中が石英の破片や金属の粉で埋め尽くされてしまいます。...

ランプが爆発するのを防ぎ、ウェーハを守るために 生産ラインで何か問題が発生した場合、どうなるでしょうか。1つのランプが壊れるだけで、すべてが止まってしまいます。さらに悪いことに、高価なウェーハ全体が汚染されてしまう可能性もあります。これは本当に最悪の状況です。 そこで、私たちは高い圧力に耐えられる...

是非を知ろう まずは「熱」について話しましょう。半導体製造ラインでは、装置が高温になります。この熱は、エネルギーコストだけでなく、安全性の面でも問題を引き起こします。私たちが開発した指向性赤外線ヒーターは、このような問題を解決するためのものです。具体的には、無駄な熱が発生し、装置内部が危険な状態に...

ファブラボの工作台で、フォトレジストの加熱処理は単なる「便利な機能」ではありません。それは、重要な寸法を安定させるための不可欠なプロセスなのです。数度の温度変動やウェーハ上の局所的な過熱があるだけで、リソグラフィーの精度は失われてしまいます。私たちは、このような状況を防ぎ、繰り返しの加工でも一貫し...