半導体用の金コーティング赤外線ランプ

装置を加熱するのはやめよう：熱フラックスを適切に管理するためのより良い方法 半導体製造工場では、常に課題があります。ウェーハを十分に高温にする必要がある一方で、装置全体がオーブンのようになってしまっては困ります。 一般的な赤外線ランプは、熱を全方位に放出してしまいます。これは無駄なことです。さらに...