Op de productielijn is temperatuurschwankingen tijdens het drogen van de wafer of het verhitten van de fotoresist geen academisch probleem. Het heeft invloed op de kwaliteit van het eindproduct en kan gemeten worden. Een verschil van 0,5°C kan al leiden tot fouten in de afmetingen van het product. Een trage temperatuurstijging kost bovendien energie die niet beschikbaar is. Ultrazuivere waterverwarmingslampen zorgen ervoor dat de temperatuur binnen de nodige grenzen blijft, shift na shift.
Wat belangrijk is We gebruiken kortegolflange infraroodemitters die zich bevinden in een kwartsomhulsel. Deze emitters zijn afgestemd op de manier waarop ultrazuiver water en fotoresist energie absorberen. Hierdoor vindt er een snelle energietransfer plaats, met minimaal warmteverlies. De temperatuur is consequent rond ±0,1°C. De herhaalbaarheid wordt gewaarborgd door een gesloten regelsysteem rechtstreeks op de plek van gebruik. De lamp is geschikt voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1 tot 100. Hij genereert geen deeltjes en houdt de vloeistoffen afgesloten, zodat geen ionen kunnen ontsnappen. De lampen leveren een stabiele prestatie gedurende meer dan 5.000 uur, met een temperatuurschwanking van minder dan 5%.
Waarom dit past bij het proces Bij het drogen van wafer’s verkort de lamp de verwerkingstijd, terwijl de oppervlakken schoon blijven. Bij lithografie zorgen de verschillende verhittingsprocedures voor een betere controle over de afmetingen van het product en verminderen ze het risico op oneffenheden. Bij het verpakken verkort de snelle droogtijd de tijd die nodig is om het product te drogen, zonder dat de hechting wordt aangetast. Tijdens het reinigen en drogen worden de structuren drooggehouden, zodat er geen herverwerking nodig is. De energieverbruik neemt af, omdat de warmte rechtstreeks naar het proces gaat, en niet in de ruimte.
Wat je moet in de gaten houden De lamp kan in bestaande apparaten worden geplaatst, maar het is belangrijk dat de lamp goed wordt gealigneerd met het oppervlak van het substraat. Er is een korte inrichtingstijd nodig om de instellingen zoals stroomsterkte en temperatuur correct in te stellen. Het kwartsomhulsel is bestand, maar vereist toch zorgvuldige behandeling en regelmatige controle om de prestaties op peil te houden.