- sınıf temiz oda koşullarında, 300 mm’lik waferyerler sıcak plaka üzerine yerleştirilir. Foto direnç değerleri, isteğe bağlı olarak değil, sıcaklık kontrolüyle belirlenir. Yüzeydeki 2°C’lik bir değişiklik bile CD’lerin konumunu değiştirebilir, litografi katmanlarını bozabilir ve bir haftalık işin sonucunu yok edebilir. Bu tür tahmin hatalarını ortadan kaldırmak için vakum odasına kızılötesi ısıtıcılar ekledik.
İç yapının önemi
Isıtıcı, milisaniyeler içinde tepki verebilen kısa dalga quartz yayıcıları kullanır. Aktif alan boyunca wafere uygulanan sıcaklık düzgünlüğü ±0,1°C seviyesindedir ve her işlem arasındaki tekrarlanabilirlik ise 0,05°C’dır. Oda gövdesi, gaz salınımını azaltmak için elektropolizasyonla işlenmiş 316L paslanmaz çelikten yapılmıştır ve 10^-6 mbar seviyesine kadar vakum altında çalışabilir. Temiz oda standartlarına uygun yapı sayesinde, 250°C’de 5.000 saat çalıştıktan sonra bile parçacık üretimi sıfır seviyesinde kalır. Entegre pirometri ve kapalı döngü kontrol sistemi sayesinde, yumuşak ve sert pişirme işlemleri sırasında ayar noktaları sabit tutulur.
Foto direnç işlemlerinde neden işe yarar?
Isı kontrolü oldukça hassastır. Bu ısıtıcı, yumuşak ve sert pişirme işlemleri için hassas sıcaklık profilleri sağlar; bu da kritik ölçümlerin stabil kalmasını ve yeniden işlemlerin azalmasını sağlar. Hızlı ısınma süresi ise işlem süresini kısaltır. Düşük termal kütle ise enerji tüketimini azaltır. Böylece 200 mm ve 300 mm hatlarda tutarlı verim elde edilir; atık miktarı azalır, tekrar işlemler azalır ve bakım işlemleri daha kolay planlanabilir.
Dikkat edilmesi gerekenler
Kurulum sırasında odanın geometrisi ve ısıtıcının emisivitesinin uyumlu hale getirilmesi gerekir. Ayrıca ısıtıcının spesifik termal yüküne göre ayarlanması gerekir. Pirometrenin konumu ve ısınma hızlarının ayarlanması için kısa bir test süreci gereklidir. Ayarlandıktan sonra sistem sorunsuz çalışır; ancak sürecin standartlarda kalması için her çeyrekte ısıtıcıların kontrol edilmesi ve yılda bir kez yeniden kalibre edilmesi gerekir.