真空室红外加热器

在一级洁净室中，300毫米直径的晶圆被放置在加热板上。光阻层的固化是通过温度来控制的，而非凭经验判断。表面温度哪怕只有2摄氏度的变化，都可能影响光刻质量，甚至导致一周的加工成果付诸东流。为此，我们设计了真空室内的红外线加热器，从而消除这种不确定性。 关键所在 该加热器采用短波石英发射器，能够实现快...