ランプが爆発するのを防ぎ、ウェーハを守るために
生産ラインで何か問題が発生した場合、どうなるでしょうか。1つのランプが壊れるだけで、すべてが止まってしまいます。さらに悪いことに、高価なウェーハ全体が汚染されてしまう可能性もあります。これは本当に最悪の状況です。
そこで、私たちは高い圧力に耐えられる炭素繊維製の赤外線ランプを開発しました。その目的は、致命的な故障のリスクなしに、強力で安定した熱を供給することです。
詳細を見てみましょう：電力とサイズ
このランプは、狭いスペースで高い性能を発揮するように設計されています。
400Vの高電圧仕様が鍵です。これにより、長距離にわたっても電力の損失なく、高いワット数の熱を供給できます。また、300mmの長さもちょうど良いです。標準的な処理に必要な範囲をカバーしつつ、装置全体を再設計する必要はありません。
2500Wという高出力により、このランプは強力な熱を発生させることができます。これはゆっくりと温めるホットターではありません。高負荷状態でも迅速に温度が上昇し、安定した出力を提供します。
安全を実現するための素材
炭素繊維製の赤外線要素は、高純度のクォーツで覆われています。なぜクォーツなのかというと、通常のガラスよりも急激な温度変化に耐えられ、高温でも破壊されないからです。そのため、頻繁にオンオフを繰り返しても、亀裂が入る可能性はずっと低くなります。
接続部分も重要です。R7sコネクタを使用して、確実で低抵抗な接続を実現しています。これにより、危険な熱点が発生することがありません。
内部の支持構造によって、ストレスが分散されます。そのため、繰り返し加熱・冷却されても、要素が変形したり劣化したりすることはありません。
このランプを使った時の感覚
高負荷環境下でも、このランプは安定して高温を発生させます。クォーツ製のケースと内部の支持構造により、熱による膨張に対応できるため、ランプが破壊される可能性は大幅に低下します。
もしランプが故障しても、その設計により破片が外部に飛び散ることはありません。つまり、ウェーハが汚染される心配はありません。
また、これは従来の器具と簡単に交換できます。すぐに設置して、生産ラインを再稼働させることができます。
ただし、2500Wの高出力と400Vの電圧では、大量の熱が発生します。そのため、機械の冷却機能や熱管理が十分であることが必要です。