ウェーハの適切な加熱方法（無駄なエネルギーの消費を避けるために） もし、製造プロセスをカーボンニュートラルにすることを目指しているのであれば、熱管理をしっかり行う必要があります。従来の方法、つまり抵抗加熱式の炉を使う方法は、まるで家全体を暖めるのに、たった一枚のピザを温めるだけのエネルギーを使って...

ファブラボの工作台で、フォトレジストの加熱処理は単なる「便利な機能」ではありません。それは、重要な寸法を安定させるための不可欠なプロセスなのです。数度の温度変動やウェーハ上の局所的な過熱があるだけで、リソグラフィーの精度は失われてしまいます。私たちは、このような状況を防ぎ、繰り返しの加工でも一貫し...