OLED製造乾燥ランプ

OLEDラインにおいて、乾燥は一時停止ではなく、制御ポイントである ウェーハはリンス後にリソース面を安定させる必要がある。フォトレジストが乾燥不足だとエッジビードが発生し、オーバーレイがずれ始める。ベイクが均一でなければ、ライン幅の分布が広がり、歩留まりが低下する。こうしたばらつきをプロセスから排...