クリーンルーム用オーブン 赤外線ヒーター
化学洗浄エリアでの安全な使用方法
正直に言って、クリーンルーム用のオーブンを化学洗浄エリアで使用するのは、まるで火を扱うようなものです。可燃性の溶剤や爆発性の蒸気が周囲にある状態では、通常の赤外線ランプを使うのは危険すぎます。ちょっとした火花でも大問題になりかねません。
そのため、私たちは赤外線ヒ...
半導体リソグラフィー用オーブンランプ
製造現場では、フォトレジストの焼成中に0.5°Cもの温度変動があれば、生産された製品全体が廃棄処分になってしまいます。不確かな加熱では不十分です。確実に所定の温度を維持できる加熱システムが必要です。
技術的に重要な点 当社のリソグラフィーオーブン用ランプは、フォトレジストが吸収する波長域において、...