では、お客様のファブで使えるUHP赤外線加熱について話しましょう。 ウェハ処理においては、わずかな歩留まりの向上でも大変な労力が必要です。そのため、私たちは超高純度のUHPヒーターランプを開発しています。今日では「グリーンファクトリー」の基準が求められていますが、私たちにとってはそれ以上にシンプル...

製造現場において、フォトレジストの焼成やウェーハの乾燥の際の温度変動は、単なる理論上の問題ではありません。それは実際に生産性に影響を与える問題なのです。0.5℃の温度変動だけで、重要な寸法に影響が出ます。また、ゆっくりとした温度上昇は、わずかしか割けない熱エネルギーを無駄にしてしまいます。超純水用...