何か問題が発生したときにウエハーを清潔に保つ方法 ウエハーファブでは、ランプの故障は大変な問題です。単に機械が数時間停止するだけでは済みません。もし重負荷のために石英管が破損すれば、ガラスの破片やタングステンの破片がシリコン上に降り注ぎます。そうなると、単なる部品の故障が大規模な汚染事故に変わって...

ウェーハの硬化処理中に発生するランプの爆発という悪夢を止める方法 高負荷の生産を行っている方なら、そのストレスはよくわかるでしょう。赤外線ランプは大きな負荷にさらされます。そして、ついにランプが壊れてしまったら、それは大惨事です。ガラスの破片や化学物質があちこちに飛び散り、ウェーハが汚染され、歩留...