오븐을 기다리는 시간을 줄이세요: 왜 적외선 가열이 훨씬 좋은지
만약 여전히 반도체 처리 과정에서 열기 순환 방식을 사용하고 있다면, 사실상 하루 중 절반 이상의 시간을 기다리는 데 소비하고 있는 셈입니다.
열기 순환 방식이 어떻게 작동하는지 생각해보세요. 먼저 공기를 가열한 다음, 그 공기가 웨이퍼를 가열해야 합니다. 이는 매우 비효율적인 방식입니다. 마치 헤어드라이어로 벽을 따뜻하게 하는 것과 같죠.
적외선 가열은 다릅니다. 적외선 에너지를 직접 웨이퍼에 전달하기 때문에 중간 단계가 필요 없습니다. 공기가 따뜻해질 때까지 기다릴 필요도 없습니다.
기다리는 것의 실제 비용
진공 챔버 앞에 서본 사람이라면 그 느낌을 잘 알 것입니다. 온도를 설정한 후에는 계속 기다려야 합니다.
적외선 램프를 사용하면 몇 초 만에 목표 온도에 도달할 수 있습니다. 이는 처리 시간 면에서 엄청난 차이를 만들어냅니다. 특히 치료나 가스 제거 과정에서는 이러한 효과가 매우 중요합니다. 만약 즉시 열을 가할 수 없다면 웨이퍼가 변형될 위험이 있으며, 그러면 큰 문제가 생깁니다.
장단점 (완벽한 것은 없기 때문에)
가장 좋은 점은 공간 절약입니다. 거대한 소음을 내는 송풍기나 복잡한 덕트 시스템을 없앨 수 있습니다. 그저 램프를 연결하고 적절한 거리를 조절하기만 하면 됩니다.
하지만 주의해야 합니다. 적외선 가열은 너무 빠르기 때문에 과도하게 사용할 위험이 있습니다. 램프의 위치가 적절하지 않으면 과열된 부분이 생길 수 있습니다. 또한, 그 속도에 맞춰 작동할 수 있는 PID 컨트롤러가 필요합니다. 그렇지 않으면 온도가 원하는 수준에 도달하기 전에 너무 높아질 수 있습니다.
왜 모두가 적외선 가열로 전환하는지
결국은 실온에서 목표 온도에 도달하는 속도에 달려 있습니다.
게다가 웨이퍼 전체에 보다 균일한 열이 전달됩니다. 난류나 과도한 전력 소비 없이 웨이퍼를 빠르게 가열할 수 있습니다. 에너지를 정확히 필요한 곳에 사용할 수 있습니다.
만약 여전히 공기 순환 방식의 오븐을 사용한다면, 돈을 낭비하고 있는 것입니다. 적외선 가열로 전환하는 것은 특별한 기술적 업그레이드가 아니라, 웨이퍼를 더 빠르게 처리하기 위한 방법입니다.
생산량 증가, 웨이퍼당 비용 감소, 타이머를 계속 쳐다보는 시간 줄어듭니다.