焼損したランプが製品の品質を台無しにするのを防ごう
大量生産を行う工場では、インフラレッドランプが故障すると本当に大変です。単に稼働停止にとどまらず、ガラス片やハロゲンガスがウェーハに直接かかってしまいます。これは大惨事です。
そこで私たちは、IR素子をステンレス製のケースで覆います。これはまるで安全装置のようなものです。ランプが故障しても、ケースが破片を受け止めてくれるので、全体の製品を廃棄する必要がありません。
適切なケースの選定
単に安定性のために鋼材を使うだけではありません。実際にランプが破裂した時の力に耐えられるように設計されています。目的は、破片をチassisの中に閉じ込めて、製品から遠ざけることです。
しかし、ランプを無理に押し込むわけにもいきません。
密着度が高すぎると、局部の過熱が起きてランプが早く壊れてしまいます。逆に緩すぎると、生産を維持するのに必要な熱密度が得られません。バランスを取るのが重要です。私たちは、石英管に負担をかけずに高い生産効率を得るために、この隙間を慎重に調整しています。
熱、金属、そして実際の環境
ステンレスを使用する理由は、熱サイクルの中でも剥がれたりしないからです。また、特殊なコーティングは避けます。極端な高温下では、そうしたコーティングがガス化したり剥がれたりしてしまい、クリーンルームでは最も避けたいことです。
忘れてはいけないのは、鋼鉄にも熱容量があるということです。屋外のランプとは異なり、ケースは熱を保持します。そのため、PIDコントローラーは、ゆっやかな温度上昇や冷却を処理するために少し調整が必要です。また、冷却ファンも十分に用意する必要があります。空気の流れがケースの形状に合っていないと、コネクタの周辺に熱が溜まってしまいます。そうなると、配線が溶けたり、ソケットが壊れたりしてしまいます。
メンテナンスを簡単にしよう
部品を交換するために何時間もかけてランプを分解するのは誰も好みません。
私たちは、迅速に部品を交換できるようにケースを設計しました。ランプが壊れたら、素子を取り出して新しいものを挿入するだけです。これにより、ウェーハの通路が清潔に保たれます。そして何よりも、定期的なメンテナンスの際に、不要な粒子がシステム内に入ることがありません。