UHP 超高純度 ヒーターランプ

では、お客様のファブで使えるUHP赤外線加熱について話しましょう。 ウェハ処理においては、わずかな歩留まりの向上でも大変な労力が必要です。そのため、私たちは超高純度のUHPヒーターランプを開発しています。今日では「グリーンファクトリー」の基準が求められていますが、私たちにとってはそれ以上にシンプル...