타버린 램프로 인해 제품이 망가지는 것을 막아야 합니다.
대량 생산 환경에서는 램프가 고장나는 것은 재앙과 같습니다. 단순히 생산이 중단되는 것뿐만 아니라, 유리 조각과 할로겐 가스가 웨이퍼 위로 떨어져 제품이 손상됩니다. 정말 큰 문제죠.
그래서 우리는 적외선 램프를 스테인리스 스틸로 둘러싸는 것입니다. 이는 일종의 안전장치라고 할 수 있습니다. 램프가 고장나면, 이 하우징이 파편들을 막아주어 전체 제품이 망가지는 것을 방지합니다.
적절한 하우징 선택이 중요합니다.
우리는 단순히 램프를 안정시키기 위해 간단한 금속 구조물을 사용하는 것이 아닙니다. 램프가 고장날 때 발생하는 힘을 견딜 수 있도록 특별히 설계된 것입니다. 목표는 파편들을 하우징 안에 가두어 제품으로부터 멀리 떨어뜨리는 것입니다.
하지만 램프를 너무 세게 끼우면 안 됩니다. 너무 조이면 램프가 과열되어 일찍 망가질 수 있습니다. 반대로 너무 느슨하면 필요한 열 전달이 이루어지지 않아 생산이 원활하지 않습니다. 균형을 맞추는 것이 중요합니다. 우리는 이러한 균형을 맞추기 위해 많은 시간을 들입니다. 그래야만 고효율적인 생산이 가능합니다.
열, 금속, 그리고 실제 환경
우리는 스테인리스 스틸을 사용합니다. 왜냐하면 열 변화에도 변형되거나 벗겨지지 않기 때문입니다. 특수 코팅도 피합니다. 극단적인 열에 노출될 경우 그러한 코팅들이 기체가 되거나 벗겨질 수 있으며, 이는 클린룸에서는 절대 원치 않는 상황입니다.
한 가지 기억해야 할 점은, 금속도 자체적인 열용량이 있다는 것입니다. 야외에 있는 램프와 달리, 하우징은 열을 가두어둡니다. 따라서 PID 컨트롤러도 보다 천천히 온도를 조절할 필요가 있습니다. 또한 냉각 팬도 충분히 갖춰야 합니다. 공기 흐름이 하우징의 크기에 맞지 않으면, 연결부 주변에 열이 쌓여서 회로가 손상될 수 있습니다.
유지보수를 더 쉽게 만들어야 합니다.
누구도 부품을 교체하기 위해 몇 시간 동안 램프를 분해하는 것을 좋아하지 않습니다. 우리는 빠른 교체를 위해 이러한 하우징을 설계했습니다. 램프가 고장나면, 그냥 부품을 빼내고 새 것을 넣으면 됩니다. 이렇게 하면 웨이퍼가 깨끗하게 유지됩니다. 그리고 가장 중요한 것은, 정기적인 수리를 할 때마다 시스템에 불필요한 이물질이 들어가는 것을 방지할 수 있다는 것입니다.