何か問題が発生したときにウエハーを清潔に保つ方法
ウエハーファブでは、ランプの故障は大変な問題です。単に機械が数時間停止するだけでは済みません。もし重負荷のために石英管が破損すれば、ガラスの破片やタングステンの破片がシリコン上に降り注ぎます。そうなると、単なる部品の故障が大規模な汚染事故に変わってしまいます。
私たちは、そのような事態を防ぐためにIR硬化ランプを製造しています。
破片の防止
まず、急速な加熱・冷却に耐えられる高純度の融解石英を使用します。しかし、それだけでは不十分です。ランプを保護用のケースや特殊なコーティングで覆います。これはまるでセーフティネットのようなものです。フィラメントが壊れたり、管が割れたりしても、そのケースが破片を受け止めてくれます。そうすることで、ウエハーが汚染されることはありません。
熱の対処
生産量を増やそうとすると、ランプに過度な負荷がかかります。ほとんどの場合、熱が集中する部分が原因で管が破裂します。これを解決するために、フィラメントの巻き方や端蓋の設計に細心の注意を払います。そうすることで、熱が管全体に均等に分布し、弱点が生じないようにします。
ちなみに、冷却システムも重要です。ランプ周辺の空気が過度に熱くなると、どんなに優れた石英でも最終的には壊れてしまいます。
些細なことでも重要
私たちは標準的なコネクタを使用します。緩んだ接続は問題の原因となります。緩んだ接続はアークを引き起こし、それが過熱やランプの破壊につながります。また、しっかりと固定されていれば、機械が振動してもランプが動かないのです。
正直なところ、どんなランプも永遠に持ち続けるわけではありません。私たちは、絶対に壊れないランプを約束するわけではありません。私たちが約束できるのは、ランプが最終的に寿命を迎えても、ウエハー全体がダメにならないようなシステムです。