ウェーハの硬化処理中に発生するランプの爆発という悪夢を止める方法
高負荷の生産を行っている方なら、そのストレスはよくわかるでしょう。赤外線ランプは大きな負荷にさらされます。そして、ついにランプが壊れてしまったら、それは大惨事です。ガラスの破片や化学物質があちこちに飛び散り、ウェーハが汚染され、歩留まりが急激に低下します。これは誰も対処したくない状況です。
私たちは、この問題を解決する方法を見つけました。専用の反射器を設置することで、2つの機能を同時に果たせます。1つは光の強度を高めること、もう1つは物理的な保護役として機能することです。
実際の動作原理
私たちは、特定の陽極処理を施した高純度アルミニウムを使用しています。これは単に赤外線エネルギーをウェーハに戻すだけではありません。石英製のケースとワークピースの間に壁を作るのです。
もしランプが熱衝撃で破損しても、この反射器が破片をキャッチします。ほとんどの破片は反射器の中に留まります。つまり、ランプが破損しても、装置全体が停止することはありません。
熱の問題（そして注意点）
これらの反射器は、高ワット数に対応して設計されています。焦点を調整することで、熱がウェーハに直接当たり、機械のフレームには当たらないようにしています。
しかし、ここにはトレードオフがあります。焦点が狭すぎると、より強い熱が発生します。冷却ファンが十分でない場合、反射器自体が過度に熱くなり、最終的にコーティングが劣化してしまいます。簡単な解決策ですが、定期的に表面の酸化状態をチェックする必要があります。2,000時間ごとに一度確認するだけで十分です。
設置方法
これらは、既存のランプにそのまま取り替える形で使えます。装置の配置を変更したり、機器を移動させたりする必要はありません。
反射器はランプの周りに装着されます。もしランプが完全に破損しても、汚染は局所的に留まります。そのため、交換作業もずっと簡単になります。壊れたランプと反射器を一緒に取り出し、破片を取り除き、新しいセットを接続すればよいのです。そうすれば、他のウェーハに影響を与えることなく、再び生産を再開できます。