無駄なエネルギーの浪費をやめよう：ファブ内のランプの熱を効果的に扱う方法
半導体製造現場では、無駄に消費される1ワットものエネルギーは、実質的にお金の無駄遣いに他なりません。ランプを動かしているときは、その赤外線エネルギーがウェーハにしっかりと当たることが不可欠です。
だからこそ、私たちは金メッキされた石英製のシールドを使用します。これがなければ、エネルギーはランプのケースの中に漏れてしまいます。しかし、このシールドがあれば、その熱は本来あるべき場所、つまりウェーハの上に戻されます。
なぜ金なのか？
通常の石英は、放射線をあらゆる方向に放出してしまいます。しかし、高純度の金メッキを施すことで、赤外線が通過できない壁ができます。その結果、ランプが周囲の空気や機械のフレームを加熱することなく、光子が直接ウェーハに戻されます。これにより、ウェーハ上の熱密度が高まりますが、電気代は変わりません。
ガラスの背後にある技術
私たちは高純度の石英を使用するのは、耐久性が高いからです。これらのランプは頻繁にオン・オフを繰り返すため、大きな熱衝撃が発生します。圧力に耐えられずに割れたり変形したりしないシールドが必要です。
また、金は単なる見栄のためのものではありません。金は酸化しません。もし安価な金属を使ってコストを節約しようとしたら、数百時間経つとコーティングが剥がれてしまいます。これは望ましい状況ではありません。
注意すべき点
ただし、何かしらの弊害もあります。金製のシールドは熱を効果的に反射するため、そのエネルギーはどこかに行かなければなりません。その結果、ランプ自体が過度に加熱されることがあります。交換する前に、冷却ファンや水冷装置がその余分な熱に対応できるかを確認してください。そうしないと、フィラメントが本来より早く壊れてしまう可能性があります。